電子行業結構性分化加劇背景下，全球半導體行業銷售一季度罕見出現下滑，而半導體設備板塊成為少數“壓艙石”類標的：A股行業上市公司當前在手訂單充沛，并且國產半導體設備中標率持續攀升，4月份中標率罕見已經超過60%。另外，市場表現來看，日前半導體板塊反彈，設備類上市公司漲幅靠前。

    國產設備話語權提升

    半導體先進設備作為國產芯片產業的短板，日前被曝將面臨來自美國的出口限制升級。據美國媒體《TheInformation》報道，美國商務部正在權衡是否加大對中國芯片制造廠打擊力度，可能進一步限制先進制程設備銷售給中國客戶，并可能將制裁范圍從中芯國際擴大至華虹、長存、長鑫等其他頭部內資晶圓廠。

    業內人士表示，相關措施能否落地還有待觀察。畢竟中國是國際半導體設備廠商的關鍵市場，據彭博統計，應用材料、科磊和泛林集團來自中國市場收入占比達到30%左右。即便傳聞落地，當前內資晶圓廠的擴產計劃以28nm及以上成熟制程為主，實際產生的影響有限。

    根據ICInsights預計，2022年全球半導體產業復合增長率將達到24%，超過此前預期，晶圓設備需求持續強勁。中國大陸2021年設備進口金額211億美元，同比增長55%。另外，從產業鏈反饋情況來看，晶圓廠對國產設備驗證與導入加速，包括離子注入、涂膠顯影和前道量測等設備已實現突破，多種設備進入量產階段。

    招標平臺信息顯示，5月10日，上海積塔半導體多項設備中標結果公布，北方華創、拓荊科技、芯源微等在內的國產設備廠中標上海積塔半導體特色工藝生產線項目，合計33臺。

    另據德邦證券統計，2022年4月中國大陸設備中標數量為67臺，國產中標率罕見高達62%，北方華創、中微公司、屹唐、芯源微等中標設備數量居前。今年1~4月開標的401臺設備中，源自中國大陸廠家制造的設備共計97臺，占比達24.2%，略低于2021年平均水平；其中，干法去膠設備國產率高達71%，刻蝕設備國產設備占比超過一半。綜合來看，國內廠家在刻蝕、清洗、干法去膠、涂膠顯影等設備環節話語權提升，有的環節甚至成為主要設備供應商。

    作為半導體設備龍頭股，北方華創一季度合同負債達到51億元，在同行上市公司中居首。公司介紹，在邏輯、存儲、功率、先進封裝等多領域，公司刻蝕機、PVD、CVD、ALD、立式爐、清洗機等多款新產品進入主流產線。另外，在泛半導體領域，公司光伏TOPCon關鍵工藝設備批量供應市場，Mini/MicroLED工藝設備進入主流產線，第三代半導體設備實現批量銷售。

    此前，有半導體材料供應商上市公司向證券時報記者表示，內資晶圓廠對國產半導體產品認證的導入期顯著縮短，從此前1~3年到現在有的產品只需要6個月或者更短。

    設備龍頭強勁增長

    市場表現來看，今年以來半導體板塊承壓，估值中樞下降，近三日半導體迎來整體反彈，設備類標的強勢反彈，背后板塊業績也有強勁支撐。

    據東方財富Choice數據顯示，2021年半導體設備上市公司實現凈利潤約合38億元，同比增長約八成，在同期半導體細分板塊中業績增速居前；今年一季度，在上海疫情、消費電子疲軟等多重因素影響下，半導體盈利增速整體放緩，但芯源微、華峰測控、概倫電子等公司盈利翻倍增長，龍頭股北方華創今年一季度凈利潤達到2.47億元，同比增長近2倍，各細分龍頭公司增長強勢。

    在前道涂膠顯影、物理清洗領域，芯源微持續發力。今年一季度，芯源微凈利潤實現3241萬元，同比增長近4倍，增速在設備板塊排第一。芯源微高管日前表示，目前公司在手訂單飽滿，今年新簽訂單也將保持高速增長。從今年一季度簽單的情況來看，公司前道領域產品已經開始放量，客戶覆蓋邏輯、存儲、功率器件及其他特種工藝等多家國內廠商。

    具體進展顯示，芯源微生產的offline涂膠顯影機已實現批量銷售，Iline涂膠顯影機已經通過部分客戶驗證并進入量產銷售階段、KrF涂膠顯影機已經通過客戶ATP驗收。另外，前道物理清洗設備已經獲得中芯國際、上海華力、武漢新芯、廈門士蘭集科、揚杰科技、青島芯恩、上海積塔等國內多家Fab廠商的批量訂單；后道涂膠顯影設備和單片式濕法設備已經成為客戶端的主力量產設備。

    對于近期上海疫情影響，芯源微高管表示，部分原材料在上海物流有一定延期，但公司通過積極協調溝通，已充分緩釋了物流延期的影響；同時公司在各個原材料供應方面與第二、第三供應商都保持著良好的合作關系，各類原材料的供應均有較好的保障。目前公司新簽訂單沒有受到疫情影響，繼續保持高速增長。

    在半導體測試設備領域，華峰測控的產品覆蓋模擬、數模混合、分立器件和功率模塊等集成電路的測試。公司高管介紹，雖然去年11、12月份，公司訂單量環比有所下降，不過從今年一季度以來，訂單量連續回升，雖然上海疫情對材料的供應和部分客戶的收入確認上受到一些影響，但隨著上海疫情的逐步緩解，行業景氣度會逐步回升。

    從業務架構上，華峰測控在模擬混合為主的基礎上，增加了SoC和功率兩個新的方向，在2021年已經取得了一定的成績，預計2022年會有更好的表現。另外，公司拓展海外市場取得成效，近三年的海外營收維持增長。據介紹，公司海外客戶的類型也從中小型的企業逐漸拓展至Tier1等一些大型IDM企業，未來預計海外營收占比從10%左右提高到20%甚至更高的水平。

    另一方面，以外銷為主的半導體設備結構件供應商華亞智能，也反向加大國內市場開拓力度。在日前業績交流會上，公司高管表示，伴隨著國內半導體設備公司的成長和發展，公司來自國內的半導體設備結構件訂單不斷增長，未來公司在繼續關注國外市場的同時，也會更加關注國內市場。去年公司新開發了部分國內半導體設備客戶，目前處于樣品試制和認證階段。

    長期看好行業周期

    關于半導體行業周期是否見頂的擔憂始終縈繞著市場。根據市場公開信息的不完全統計，中國大陸地區主要晶圓廠預計新增12英寸芯片產能約為148.20萬片/月，新增8英寸芯片產能約為11.50萬片/月。業內指出，近兩年擴建的晶圓廠大部分預計在2023年至2025年左右開始投產，這意味著半導體供需關系有望在2022年年底達到平衡，2023年芯片短缺將得以緩解。

    據半導體行業協會（SIA）統計，2022年第一季度全球半導體銷售額總計1517億美元，比2021年第一季度增長23%，但環比2021年第四季度下降0.5%。另外，中國海關數據顯示，今年一季度中國半導體制造設備進口505.51億元，同比下降1.9%，罕見出現增速下降。

    不過，半導體設備類上市公司高管表示，行業的整體景氣度依舊向好，由于疫情以及中美貿易摩擦的影響，國產替代的步伐依舊在不斷的加快。對于公司來講，體現在報表上的話，依然會有季節性的變動，二三季度相比一四季度要好一些。基于集成電路產業的地位及國家政策的持續性，有信心在2022年保持穩定增長。

    另一方面，隨著工藝提升，半導體設備重要性將愈發凸顯。

    中微公司高管指出，隨著國際上先進芯片制程從14納米到10納米階段向7納米、5納米及更先進工藝的方向發展，當前光刻機受光波長的限制，需要結合刻蝕和薄膜設備，采用多重模板工藝，利用刻蝕工藝實現更小的尺寸，使得刻蝕技術及相關設備的重要性進一步提升。為了進一步提升市場占有率，公司將根據先進邏輯芯片和高密度存儲DRAM和3DNAND芯片的不同刻蝕需求，開發不同的硬件特征的產品，滿足客戶差異化需求，另外會根據客戶的研發需求，定義下一代產品的技術指標和技術路線，開發能滿足客戶需求的新產品。

    據介紹，中微公司刻蝕設備在國內市場占有率不斷提升，高端工藝研發進展順利，新簽訂單金額同比增長90.5%達41.3億元。其中，在邏輯集成電路制造環節，公司開發的12英寸高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶65納米到5納米等先進的芯片生產線上；同時，公司根據先進集成電路廠商的需求，已開發出小于5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工，并已獲得行業領先客戶的批量訂單，并且正在開發涵蓋5納米以下的更多刻蝕需求和更多不同關鍵應用的設備。