展廳改成了車間，會議室改成了辦公室，工位上年輕人坐得滿滿當當……近日，《科創中國》調研活動走進半導體裝備公司芯源微，感受科創新力量。秋日暖陽下，這家公司的每一個角落，都洋溢著欣欣向榮之氣息。

    “不好意思，地方有點擠，最近生意比較好。”芯源微董事長宗潤福邊帶記者參觀，邊表達歉意，“生意興隆”的喜悅卻掛在了眉梢。

    缺地方不是問題，只要生意足夠好。在渾河的南岸、桃仙機場的腳下，一片廠房正在拔地而起，那是芯源微的新生產基地。“涂膠顯影設備的市場就高達200億元，芯源微2020年營收才3億元，更不要說芯源微還有單片清洗機、噴膠機等設備……”當夢想照進現實，宗潤福說，他們在數著日子，盼新生產基地竣工投入使用。

    科創板“紅利”多

    在參觀芯源微的過程中，不管是在會議室，還是在展廳、車間，芯源微工作人員都在因“地方有點擠”表達著歉意。記者注意到，芯源微的展廳是老生產大樓一樓的小門廳，會議室擠得勉強落下腳。

    “訂單飽滿、人員激增，我們地方真的不夠用啊。”宗潤福告訴記者，由于上市后業務量激增，人員急速擴張，只能把大的會議室改成了辦公室，展廳也改成了車間。現在，不管是工位還是車間，依然都不能滿足生產需要，公司在加緊建設新的生產基地。

    芯源微于2019年12月登陸科創板。彼時，宗潤福接受上海證券報記者專訪時表示：“我有一個夢想，打造一家世界級的中國半導體裝備公司。”“現在，我和芯源微離夢想又近了一步。”落座寒暄，回憶起上市事宜，宗潤福笑呵呵地告訴記者，科創板給芯源微帶來了資金、規范、人才等，讓公司發展“如虎添翼”。科創板上市募資解決了公司發展的資金壓力，使得公司能夠趕上風口，大力進行擴產和加強新產品研發；上市使得公司在生產、管理、財務上都更加規范，提升了公司在產業圈的品牌美譽度，公司的供應鏈管理、銷售管理都更加順暢；上市還給公司帶來了人才紅利，吸引了一大批具有競爭力的人才，公司員工隊伍穩定，大家干勁十足。

    記者了解到，上市以來，芯源微的半導體設備在前道制程領域取得了重大突破。具體來看，公司的涂膠顯影設備打破了國外壟斷，在前道晶圓加工環節實現了小批量出貨；公司生產的集成電路前道晶圓加工領域用單片式清洗機SpinScrubber已經達到國際先進水平，在國內多個重要客戶處獲得批量重復訂單。重大突破下，公司業績也是飛躍式增長，公司今年上半年凈利潤同比增長464.05%。

    宗潤福尤其贊賞科創板的股權激勵制度。“芯源微上市后進行了兩輪股權激勵，有86位核心技術人員獲得了股權期權，這使得公司不僅穩定了隊伍，還吸引了更多的人才，為公司的長遠發展奠定了堅實基礎。”宗潤福介紹，一個從業三五年的工程師，在芯源微的年收入大概二三十萬元，芯源微再給予同等的股權激勵，那么年收入相當于五六十萬元。沈陽房價、生活成本相對較低，這樣的“工資+股權激勵”結構就比較具有吸引力。

    半導體設備“前景”廣

    “半導體設備確實是中國制造業的一個短板，一旦形成突破，將是很大的成績與跨越式的發展。”對于芯源微所在賽道，宗潤福如此概括。

    半導體設備被視為制造業皇冠上的明珠，尤其是與光刻相關的前道設備更是“難中之難”。“涂膠顯影設備是與光刻機聯機共同工作的，是半導體生產線上最關鍵的工藝設備之一。”宗潤福以涂膠顯影設備為例介紹，在這個領域，日本東電電子占據了90%的市場份額，年銷售額近200億元；這也就是說，對我國半導體前道設備公司來說，其所在賽道的技術門檻高、市場天花板也足夠高，未來的發展空間巨大。

    “涂膠顯影設備的市場規模有200多億元，芯源微2020年營收才3億元，更不要說芯源微還有單片清洗機、噴膠機等設備。”提及芯源微的發展空間，宗潤福給記者舉例，涂膠顯影設備廣泛應用于LED、化合物半導體、半導體后道封裝、半導體前道制造等領域。面對廣闊市場，芯源微采用“農村包圍城市”戰略戰術，從工藝要求相對比較低的化合物半導體、半導體封裝開始，逐步向半導體前道設備邁進，實現了技術的積累和公司穩定成長。

    記者了解到，在涂膠顯影設備領域，芯源微現在已從跟跑走到了并跑階段，而且有望成為領跑者。目前，在小尺寸LED、化合物半導體領域，芯源微用更具有性價比的設備超越了競爭對手，實現了領跑；在半導體后道封裝領域，芯源微已經走到與國際廠商并跑的階段，市場份額快速增長；在半導體前道制造領域，芯源微向領跑者發起挑戰，實現了小批量出貨，未來有長足的進步空間。

    在半導體清洗設備領域，我國半導體公司同樣面臨著巨大的增長潛力。相關數據顯示，到2024年，全球半導體清洗設備行業將達到70億美元。目前，全球半導體清洗設備市場集中在日本迪恩士、東京電子和韓國SEMES等廠商手里。

    宗潤福介紹，單片清洗是當前主流的清洗技術路線，占晶圓制造清洗步驟數量的90%左右。尤其是，到28nm及以下先進制程，清洗工序等增加、潔凈度要求提高，使得單片清洗設備的用量將大幅增加。

    “芯源微只專注半導體設備。”對于公司發展的戰略規劃，宗潤福告訴記者，做高端制造業，不能這山望著那山高，也不要想著去開拓多種業務，去掙主業以外的快錢，半導體裝備尤其需要這樣的專心、專注。“在半導體領域，只有做到了國內第一、國際前三，才有話語權和定價能力。”

    芯源微的“芯語芯愿”

    所有的成功，都是時間的積累和饋贈，這尤其體現在芯源微和宗潤福的身上。

    “芯源微所從事的涂膠顯影設備、單片清洗設備等，其核心技術如離心機旋轉、熱板烘烤等，也是自動化控制的業務內容，我們恰好有堅實的自動化業務基礎。”對于創業的緣起，宗潤福告訴記者，這源于歷史的積淀。

    1988年，宗潤福于哈爾濱工業大學工業自動化專業研究生畢業，入職中科院沈陽自動化研究所。從破格提拔為自動化所研究員，到享受國務院特殊津貼、歷任科技處長等職，再到獲得中科院科技進步一等獎……宗潤福用十年的時間，在這里成長、積累，也為其在半導體設備領域的“一鳴驚人”積蓄了能量。

    “東北作為共和國的老工業基地，具有深厚的半導體裝備配套能力。”宗潤福進一步介紹，不管是機械設計人才，還是電氣化人才，乃至于裝備設備和原材料，東北的積淀都如這片黑土地一樣，深厚、肥沃。厚積薄發，當這些積淀與半導體設備需求碰撞到一起時，就迸發出創新的力量，激蕩出科創公司，也奏出了東北振興鮮活樂章。

    創新創業，是一個“自然生長”的事物。記者注意到，在這條名為“飛云路”的大街上，不足2公里的路程內，兩側分布著芯源微、中科新松、拓荊科技、沈陽科學儀器股份有限公司、沈陽富創精密設備有限公司等科技公司，已經形成了一個半導體裝備企業小集群，開始產生產業集聚效應。

    “中科院沈陽自動化研究所是一個應用技術研究所，應用技術的宗旨就是把技術轉化為產品，并使其在國民經濟中發揮最大的社會效益，也就是做產品做企業。”回顧芯源微的發展史，宗潤福感慨，正是自己在自動化領域的積累、東北老工業基地的技術積淀、研究所的理念加持，共同推動了芯源微的成長與發展。

    時光荏苒，19個春秋，芯源微默默成長，漸漸參天。“半導體是一個高度國際化競爭的行業，只有站穩國際競爭舞臺，才意味著具有了長足的競爭力。”面對著產業“好年景”，宗潤福強調，中國半導體公司必須立足國內，抓住當前三至五年的黃金窗口期；放眼世界，做超前的布局、長期研發投入，才能打造出世界級的中國半導體設備公司。

    科創板，成了撬動芯源微騰躍起飛的重要支點。