本報記者 施露

    7月14日晚間，萬業企業披露2022年半年度業績預告，2022年1-6月，公司及控股子公司累計新增集成電路設備訂單超7.5億元，集成電路專用設備制造業務收入較上年同期增加約150%，主要受益于中國本土集成電路晶圓廠加速擴產，旗下低能大束流離子及高能注入機順利完成客戶交付，多家客戶新簽設備采購訂單等因素影響。

    現階段，萬業企業正向集成電路前道設備領域加速部署。公司控股子公司凱世通在2022年度第一季度獲得重要客戶多臺12英寸集成電路設備的批量訂單，包含低能大束流離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機。今年4月下旬，凱世通進入上海市經信委首批復工復產白名單，向客戶順利交付了批量訂單中的首批多套大束流離子注入機，后續將按期交付節奏穩定出貨。2021年至今，凱世通研發的4種不同型號的離子注入機設備已相繼在客戶端成功取得驗證及驗收，包括低能大束流離子注入機、低能大束流重金屬離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機以及高能離子注入機。當前，公司與核心部件供應商已建立良好的合作關系，擁有穩定的供應商體系，在國內離子注入行業領域內擁有領先地位。

    從經營狀況看，公司正處于產能爬坡階段，公司另一控股子公司嘉芯半導體主要將覆蓋刻蝕機、快速熱處理/褪火、薄膜沉積、單片清洗機、槽式清洗機、尾氣處理、機械手臂等領域，布局12寸及8寸等主流設備市場。目前嘉芯半導體的109畝研發制造基地正在建造中，屆時產能釋放后，持續推動公司“1+N”集成電路設備平臺的高質量發展。

    據了解，目前本土晶圓廠持續擴產，帶動國內半導體設備需求持續旺盛，行業處于上升通道。未來，萬業企業將通過積極拓展市場開發客戶，推進設備在多種工藝及制程節點的應用，驅動集成電路業務迎來高速發展。

（編輯 李波）