本報記者 徐一鳴 見習記者 孫文青

    4月28日晚，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）發布2023年一季報。今年一季度，公司實現營業收入12.23億元，同比增長28.86%；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤2.75億元，同比增長134.98%。

    中微公司表示，支撐公司業績增長的主要原因為公司各半導體設備產品銷量的增長。

    報告期內，中微公司的刻蝕設備在國內外市場占有率不斷提高。其中，在國際最先進的5nm芯片生產線及下一代更先進的生產線上，公司的CCP刻蝕設備實現了多次批量銷售，已有超過200臺反應臺在生產線合格運轉。另外公司的ICP刻蝕設備不斷地核準更多刻蝕應用，迅速擴大市場并不斷收到領先客戶的批量訂單。今年一季度，刻蝕設備收入為8.14億元，較上年同期增長約13.94%，毛利率達到47.29%。

    同時，報告期內，中微公司的MOCVD設備實現收入1.67億元，較上年同期增長約300.48%，毛利率達到40.09%。

    在披露一季報的同時，中微公司還公告稱，擬受讓國家集成電路產業投資基金股份有限公司持有的睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“上海睿勵”）6.7575%股權。

    集成電路芯片生產設備包括光刻、刻蝕、薄膜、工藝檢測、清洗、離子注入等諸多個細分種類。工藝檢測設備是為芯片生產各工藝提供監測數據以確保各項工藝指標滿足要求從而提高成品率的關鍵性設備。隨著芯片工藝不斷向更小節點發展，芯片生產過程中的所需檢測的步驟和頻次越來越高，對工藝檢測設備的需求量隨之增加。2022年，上海睿勵實現的營收和凈利潤分別為7186.26萬元和虧損2920.95萬元。

    中微公司稱，此次對上海睿勵的股權收購有利于進一步促進公司產業鏈延伸，有利于公司培育新的業務增長點，促進公司健康發展。

（編輯 上官夢露）